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发明名称
摘要
申请公布号 JP2891321(B2) 申请公布日期 1999.05.17
申请号 JP19940078654 申请日期 1994.04.18
申请人 INTAANASHONARU BIJINESU MASHIINZU CORP 发明人 FUREDERITSUKU TEI BURADEI;NADEIMU EFU HADATSUDO;AASAA EDENFUERUDO
分类号 H01L29/78;H01L21/265;H01L21/336;H01L27/08;H01L27/12;H01L29/786;(IPC1-7):H01L27/12 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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