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发明名称 COUNTERFLOW DEVICE TO REDUCE THE NEGATIVE IMPACT OF CONTAMINATING MATERIALS USED IN MOISTURE SENSITIVE APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100184899(B1) 申请公布日期 1999.05.15
申请号 KR19930071882 申请日期 1993.06.18
申请人 MEECO, INCORPORATED 发明人 METTES, JACOB
分类号 G01N27/42;G01N27/416;G01N33/00;(IPC1-7):G01N27/26 主分类号 G01N27/42
代理机构 代理人
主权项
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