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发明名称 WAFER DIAMETER/SECTIONAL SHAPE MEASURING MACHINE
摘要
申请公布号 KR100185782(B1) 申请公布日期 1999.05.15
申请号 KR19950000866 申请日期 1995.01.19
申请人 TOKYO SEIMITSU CO., LTD. 发明人 KAGAMIDA, TAKESHI
分类号 G01B11/24;G01B11/08;G06T1/00;H01L21/00;H01L21/66;H01L21/677;(IPC1-7):G01B11/24;H01G9/042 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
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