| 发明名称 |
DISPOSITIF ET PROCEDE DE MESURES TRIDIMENSIONNELLES ET D'OBSERVATION IN SITU D'UNE COUCHE SUPERFICIELLE DEPOSEE SUR UN EMPILEMENT DE COUCHES MINCES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2760085(B1) |
申请公布日期 |
1999.05.14 |
| 申请号 |
FR19970005672 |
申请日期 |
1997.05.07 |
| 申请人 |
INSTRUMENTS SA |
发明人 |
CANTELOUP JEAN;KLEIM ROLAND |
| 分类号 |
G01B9/02;G01B11/00;G01B11/22;G01J4/00;H01L21/66;(IPC1-7):G01B11/06 |
主分类号 |
G01B9/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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