| 发明名称 |
PROCEDE ET DISPOSITIF POUR LA REALISATION DE PRODUITS CHIMIQUES DE HAUTE PURETE POUR L'INDUSTRIE MICRO-ELECTRONIQUE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2761896(B1) |
申请公布日期 |
1999.05.14 |
| 申请号 |
FR19970004499 |
申请日期 |
1997.04.11 |
| 申请人 |
LABEILLE SA |
发明人 |
LAEDERICH THIERRY;DULPHY HERVE |
| 分类号 |
B01D53/14;B01J19/00;C01B7/07;C01B7/19;C01C1/02;(IPC1-7):B01D3/00;B01D3/34;B01F1/00;C01B7/01 |
主分类号 |
B01D53/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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