HERSTELLUNGSVERFAHREN EINER HALBLEITERANORDNUNG AUS SILIZIUMKARBID,申请号DE1996601981-传众专利搜索

发明名称	HERSTELLUNGSVERFAHREN EINER HALBLEITERANORDNUNG AUS SILIZIUMKARBID
摘要
申请公布号	DE69601981(D1)	申请公布日期	1999.05.12
申请号	DE1996601981	申请日期	1996.01.17
申请人	ABB RESEARCH LTD., ZUERICH, CH	发明人	HERMANSSON, WILLY, S-724 76 VAESTER S, SE;RAMBERG, LENNART, S-161 52 BROMMA, SE;SIGURD, DAG, S-121 33 ENSKEDEDALEN, SE
分类号	H01L29/73;H01L21/04;H01L21/265;H01L21/331;H01L21/76;H01L29/12;H01L29/16;H01L29/24;H01L29/74;H01L29/78;H01L29/861;(IPC1-7):H01L21/266	主分类号	H01L29/73
代理机构		代理人
主权项
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