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发明名称 PROCESS FOR PRODUCING A DIFFUSION REGION ADJACENT TO A RECESS IN A SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP0745271(B1) 申请公布日期 1999.05.12
申请号 EP19950906895 申请日期 1995.02.01
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 SCHWALKE, UDO;SEBALD, MICHAEL;SCHELER, ULRICH
分类号 H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/762 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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