发明名称 Test head for microstructures with interface
摘要 <p>Es wird ein Prüfkopf mit einer Kontaktiervorrichtung zum Kontaktieren von vorzugsweise eng nebeneinander angeordneten Prüfpunkten eines elektrischen Prüflings, mit mehreren, mit einem Verbindungselement einer Prüfeinrichtung elektrisch verbindbaren Kontaktelementen, die in Durchgangsöffnungen mindestens einer Führung, vorzugsweise von zwei Führungsplatten, angeordnet sind, wobei jedes Kontaktelement in der jeweils zugeordneten Durchgangsöffnung der Führung axial verschieblich geführt ist, und wobei ein Ende jedes Kontaktelements auf eine Kontaktstelle des Verbindungselements gerichtet und deren anderes Ende auf jeweils einen Prüfpunkt des Prüflings richtbar ist, vorgeschlagen. Der Prüfkopf zeichnet sich dadurch aus, daß die Kontaktelemente (25) mit Hilfe von Haltemitteln gegen Herausfallen aus den Durchgangsöffnungen (23;47) gesichert sind, und daß das Verbindungselement (11) und die Kontaktiervorrichtung (7) mittels Befestigungsmittel (9) lösbar miteinander verbunden sind. <IMAGE></p>
申请公布号 EP0915344(A2) 申请公布日期 1999.05.12
申请号 EP19980120166 申请日期 1998.10.28
申请人 FEINMETALL GMBH 发明人 GIRINGER, KLAUS;SCHMID, RAINER;DEUSCH, HEINZ-LUDWIG;GAUSS, ULRICH
分类号 G01R1/073;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
主权项
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