PROCESS FOR TESTING A PRODUCT AND EQUIPMENT FOR CARRYING OUT THE PROCESS,申请号EP19970933687-传众专利搜索

发明名称	PROCESS FOR TESTING A PRODUCT AND EQUIPMENT FOR CARRYING OUT THE PROCESS
摘要
申请公布号	EP0914617(A1)	申请公布日期	1999.05.12
申请号	EP19970933687	申请日期	1997.07.21
申请人	SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT;HEWLETT-PACKARD GMBH	发明人	BREU, JOHANN;PIRKL, LUDWIG;WAGNER, THOMAS;WOJTALLA, PETER;STEGERER, FRANZ;VOGGENREITER, OTTO;MASSEUS, LEON;YAP, MEE-MOI;JURI, WALTER;LANE, FRED;STEPHEN, TSUN;KINOSHITA, GARY;SCHROEDER, RAINER;KORNMAYER, WERNER
分类号	G01R31/00;G01R31/01;G01R31/26;G01R31/316;G01R35/00;H01L21/66;(IPC1-7):G01R35/00	主分类号	G01R31/00
代理机构		代理人
主权项
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