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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR PRODUCING AND USING PLASMA
摘要
申请公布号 EP0914668(A2) 申请公布日期 1999.05.12
申请号 EP19960925244 申请日期 1996.03.22
申请人 JOUANNEAU, ANDRE 发明人 JOUANNEAU, ANDRE
分类号 G21B3/00;(IPC1-7):H01J37/00;G21B1/00 主分类号 G21B3/00
代理机构 代理人
主权项
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