| 发明名称 |
MICROWAVE APPLICATOR FOR AN ELECTRON CYCLOTRON RESONANCE PLASMA SOURCE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0914496(A1) |
申请公布日期 |
1999.05.12 |
| 申请号 |
EP19970934029 |
申请日期 |
1997.07.01 |
| 申请人 |
APPLIED MICROWAVE PLASMA CONCEPTS, INC. |
发明人 |
DANDL, RAPHAEL, A. |
| 分类号 |
C23C16/00;H05H1/46;C23C14/34;C23C16/50;C23C16/511;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23C16/00 |
主分类号 |
C23C16/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
