申请人 |
INSTITUT FUER MIKROTECHNIK MAINZ GMBH, 55129 MAINZ, DE |
发明人 |
EHRFELD, WOLFGANG, PROF. DR., 55124 MAINZ, DE;GEBAUER, KLAUS, 65185 WIESBADEN, DE;GOLBIG, KLAUS, DR., 55270 ZORNHEIM, DE;RICHTER, THOMAS, DR., 55118 MAINZ, DE;SCHOLL, THOMAS, 55130 MAINZ, DE |