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发明名称 Verschiebungsmesseinrichtung
摘要
申请公布号 DE69417673(D1) 申请公布日期 1999.05.12
申请号 DE19946017673 申请日期 1994.10.07
申请人 SONY PRECISION TECHNOLOGY, INC., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 NAKANISHI, NORIKO, C/O SONY MAGNESCALE INC., SHINAGAWA-KU, TOKYO, JP;KUME, HIDEHIRO, C/O SONY CORPORATION, SHINAGAWA-KU, TOKYO, JP
分类号 G01B11/00;G01B11/02;G01C3/06;G01D5/26;(IPC1-7):G01D5/26 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
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