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发明名称 Fabrikationsverfahren für photonische, integrierte Schaltkreise
摘要
申请公布号 DE68928847(T2) 申请公布日期 1999.05.12
申请号 DE1989628847T 申请日期 1989.08.21
申请人 AT & T CORP., NEW YORK, N.Y., US 发明人 KOCH, THOMAS LAWSON, HOLMDEL, NEW JERSEY 07733, US;KOREN, UZIEL, FAIR HAVEN, NEW JERSEY 07704, US
分类号 G02B6/12;G02B6/124;G02B6/136;H01L21/8252;H01L27/15;H01S5/00;H01S5/026;H01S5/12;(IPC1-7):G02B6/12;H01L21/82;H01S3/025 主分类号 G02B6/12
代理机构 代理人
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