| 发明名称 |
ALINER AND METHOD FOR PROJECTION EXPOSURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11126737(A) |
申请公布日期 |
1999.05.11 |
| 申请号 |
JP19970276625 |
申请日期 |
1997.09.25 |
| 申请人 |
UNION OPTICAL CO LTD |
发明人 |
MOMOSE KATSUMI;MATSUMURA YOSHIRO;YAMAUCHI TAKESHI |
| 分类号 |
G04G3/00;G03F7/20;H01L21/027;H05K3/00;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
G04G3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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