| 发明名称 |
ELECTRON BEAM DEVICE EQUIPPED WITH SAMPLE HEIGHT MEASURING MEANS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11126573(A) |
申请公布日期 |
1999.05.11 |
| 申请号 |
JP19980243003 |
申请日期 |
1998.08.28 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TODOKORO HIDEO;OTAKA TADASHI;MAEDA TATSUYA;SASADA KATSUHIRO |
| 分类号 |
H01J37/20;H01J37/141;H01J37/21;(IPC1-7):H01J37/21 |
主分类号 |
H01J37/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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