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发明名称 VAPORIZER
摘要
申请公布号 JPH11124674(A) 申请公布日期 1999.05.11
申请号 JP19970304901 申请日期 1997.10.20
申请人 EBARA CORP 发明人 SUZUKI HIDENAO;HORIE KUNIAKI;NAKADA TSUTOMU;SHIBAZAKI MITSUNAO
分类号 C23C16/44;C23C16/448;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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