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发明名称 METHOD FOR FORMING TUNGSTEN PLUG AND METHOD FOR FORING TUNGSTEN PLUG AND TUNGSTEN WIRING
摘要
申请公布号 JPH11126761(A) 申请公布日期 1999.05.11
申请号 JP19970289878 申请日期 1997.10.22
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 NOMA TAKASHI
分类号 H01L21/285;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/285;H01L21/320 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
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