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发明名称 LIQUID PHASE EPITAXIAL GROWTH AND LIQUID PHASE GROWTH SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH11126783(A) 申请公布日期 1999.05.11
申请号 JP19970289508 申请日期 1997.10.22
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SAITO TETSUO
分类号 C30B19/10;H01L21/208;H01L21/368;(IPC1-7):H01L21/368 主分类号 C30B19/10
代理机构 代理人
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