| 发明名称 |
PROCEDE D'AMINCISSEMENT D'UNE PLAQUETTE DE SEMICONDUCTEUR |
| 摘要 |
<P>L'invention concerne un procédé d'amincissement d'une plaquette de semiconducteur (2) par rectification d'une face arrière (21), et comporte une étape de dressage du bord (22) de la plaquette, de façon à obtenir un bord droit (22') sensiblement sur toute l'épaisseur de la plaquette.</P>
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| 申请公布号 |
FR2770685(A1) |
申请公布日期 |
1999.05.07 |
| 申请号 |
FR19970013986 |
申请日期 |
1997.10.31 |
| 申请人 |
SGS THOMSON MICROELECTRONICS SA |
发明人 |
VANDEPUTTE JACQUES |
| 分类号 |
B24B1/00;B24B9/06;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304;H01L21/463 |
主分类号 |
B24B1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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