| 发明名称 |
DISPOSITIF DE TRANSPORT DE TRANCHES DE SILICIUM POUR SEMI-CONDUCTEURS |
| 摘要 |
<P>L'invention concerne un dispositif de transport de tranches de silicium destiné à transporter ou à maintenir des tranches de silicium selon une disposition horizontale alignée axiale.Ce dispositif comprend au moins quatre zones ponctuelles servant à supporter les tranches de silicium au niveau de leur portion de bord. Il comprend une pluralité de fentes définies par des guides allongés (220) formés sur les parois latérales du dispositif de transport. Des protubérances (230) s'étendant vers le haut supportent les tranches de silicium dans des conditions de contact minimal avec le dispositif de transport. Le nombre et la configuration des protubérances (230) sont suffisants pour empêcher tout contact avec la surface supérieure des guides (220).</P>
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| 申请公布号 |
FR2770498(A1) |
申请公布日期 |
1999.05.07 |
| 申请号 |
FR19980013123 |
申请日期 |
1998.10.20 |
| 申请人 |
FLUOROWARE INC |
发明人 |
NYSETH DAVID L;BHATT SANJIV M;EGGUM SHAWN;WISEMAN BRIAN S;ADAMS MICHAEL S |
| 分类号 |
H01L21/673;(IPC1-7):B65D85/86;B65D25/10;H01L21/00 |
主分类号 |
H01L21/673 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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