| 发明名称 |
Method for operation of a vacuum arc evaporator and current supply therefor |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0666335(B1) |
申请公布日期 |
1999.05.06 |
| 申请号 |
EP19950100987 |
申请日期 |
1995.01.25 |
| 申请人 |
GRIMM, WERNER, DR. |
发明人 |
GRIMM, WERNER;ELLRODT, MARIO |
| 分类号 |
H01J37/32;H05H1/48;(IPC1-7):C23C14/00;C23C14/32 |
主分类号 |
H01J37/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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