MINIMIERUNG DER PARTIKELERZEUGUNG IN CVD-REAKTOREN UND VERFAHREN
摘要
申请公布号
DE69130293(T2)
申请公布日期
1999.05.06
申请号
DE19916030293T
申请日期
1991.12.11
申请人
LAM RESEARCH CORP., FREMONT, CALIF., US
发明人
TAPPAN, JAMES, E., MILPITAS, CA 95035, US;YASUDA, ARTHUR, K., SAN FRANCISCO, CA 94107, US;DENISON, DEAN, R., SAN JOSE, CA 95125, US;MUNDT, RANDALL, S., PLEASANTON, CA 94566, US
