发明名称 Verfahren zum Testen von mit einer Leiterbahnstruktur versehenen Substraten
摘要
申请公布号 DE19600994(C2) 申请公布日期 1999.05.06
申请号 DE1996100994 申请日期 1996.01.12
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG EV, 80636 MUENCHEN, DE 发明人 ZAKEL, ELKE, DR.-ING., 12163 BERLIN, DE;ANSORGE, FRANK, DR.-ING., 12163 BERLIN, DE;KASULKE, PAUL, 10551 BERLIN, DE;OSTMANN, ANDREAS, 10585 BERLIN, DE;ASCHENBRENNER, ROLF, 12055 BERLIN, DE;DIETRICH, LOTHAR, 13509 BERLIN, DE
分类号 G01R1/073;H01L21/48;(IPC1-7):G01R31/28;H01L23/50 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
主权项
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