| 发明名称 |
Method of fabricating thin film structures |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0556904(B1) |
申请公布日期 |
1999.05.06 |
| 申请号 |
EP19930200381 |
申请日期 |
1993.02.12 |
| 申请人 |
PHILIPS ELECTRONICS UK LIMITED;KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. |
发明人 |
VAN BERKEL, CORNELIS |
| 分类号 |
G02F1/1343;G02F1/136;G02F1/1362;G02F1/1365;G02F1/1368;G03F7/00;G03F7/20;G03F7/22;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):G03F7/20;G09G3/36;H01L21/02;H01L27/12;H01L29/772 |
主分类号 |
G02F1/1343 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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