发明名称 Technik zum Reduzieren von Störungen durch Alphateilchen
摘要
申请公布号 DE69228792(D1) 申请公布日期 1999.05.06
申请号 DE1992628792 申请日期 1992.11.19
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 CHIDAMBARRAO, DURESETI, DERBY, CONNECTICUT 06418, US;NIJHUIS, ROLF HENK, PLEASANT VALLEY, NEW YORK 12569, US;SRINIVASAN, GURUMAKONDA RAMASAMIENGAR, POUGHKEEPSIE, NEW YORK 12603, US;MURLEY, PHILIP CLYDE, POUGHKEEPSIE, NEW YORK 12601, US;ROBBINS, GORDON JAY, WAPPINGERS FALLS, NEW YORK 12590, US;WALTERS, TIMOTHY LAWTON, POUGHKEEPSIE, NEW YORK 12601, US
分类号 H01L23/522;H01L21/60;H01L21/768;H01L23/49;H01L23/556;(IPC1-7):H01L23/556 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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