发明名称 Method for placing flourescent single molecules on surface of substrate and method for visualizing structural defect of surface of substrate
摘要
申请公布号 EP0838850(A3) 申请公布日期 1999.05.06
申请号 EP19970308515 申请日期 1997.10.24
申请人 HAMAMATSU PHOTONICS K.K. 发明人 ISHIKAWA, MITSURU
分类号 B05D1/28;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 B05D1/28
代理机构 代理人
主权项
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