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发明名称 Elektronenstrahlmessapparat
摘要
申请公布号 DE69412676(T2) 申请公布日期 1999.05.06
申请号 DE19946012676T 申请日期 1994.03.18
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 OTAKA, TADASHI, KATSUTA-SHI, IBARAKI 312, JP;MORI, HIROYOSHI, KATSUTA-SHI, IBARAKI 312, JP;TODOKORO, HIDEO, NISHITAMA-GUN, TOKYO 190-01, JP
分类号 G01B11/02;G01B11/24;G01B15/00;G01Q30/02;G01Q30/04;G06T7/60;(IPC1-7):G01B15/00 主分类号 G01B11/02
代理机构 代理人
主权项
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