| 发明名称 |
Method of controlling an arc spot in vacuum arc vapor deposition and an evaporation source |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0495447(B1) |
申请公布日期 |
1999.05.06 |
| 申请号 |
EP19920100496 |
申请日期 |
1992.01.14 |
| 申请人 |
KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO ALSO KNOWN AS KOBE STEEL LTD. |
发明人 |
YOSHIKAWA, TETSUYA |
| 分类号 |
C23C14/24;C23C14/32;H01J37/32;(IPC1-7):C23C14/32 |
主分类号 |
C23C14/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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