Spektrometeranlage mit Vakuum-Ultraviolett-Spektrometer und Detektorvorrichtung mit Mikrosphärenplatte zur spektroskopischen Partialdruckmessung in einer Umgebung mit hohen Magnetfeldern
摘要
The invention relates to a spectrometer facility with a vacuum ultraviolet spectrometer, comprising an inlet slot and an outlet slot and a detector device. A Penning discharge is located in front of the inlet slot and the detector device is placed in front of the outlet slot. The detector device comprises a microspheric plate coated with magnesium fluoride.
申请公布号
DE19748172(A1)
申请公布日期
1999.05.06
申请号
DE19971048172
申请日期
1997.10.31
申请人
FORSCHUNGSZENTRUM JUELICH GMBH, 52428 JUELICH, DE
发明人
EICH, THOMAS H., 53859 NIEDERKASSEL, DE;FINKEN, KARL HEINZ, DR., 52353 DUEREN, DE;MANK, GUENTER, DR., 52445 TITZ, DE