发明名称 Method of making contacts on a semiconductor device
摘要
申请公布号 EP0797250(A3) 申请公布日期 1999.05.06
申请号 EP19970104967 申请日期 1997.03.24
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 SUDO, AKIRA
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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