GENERADOR DE IONES ACTIVADO POR MICROONDAS PARA LA IMPLANTACION IONICA.

摘要

UN APARATO DE FUENTE DE IONES CON ENERGIA DE MICROONDAS (12) ESTA SOPORTADO POR UN TUBO DE SOPORTE (94) QUE SE EXTIENDE EN UNA CAVIDAD (57) DEFINIDA POR UN CONJUNTO DE ALOJAMIENTO (22) E INCLUYE UNA CAMARA DE PLASMA DIELECTRICA (42), UN PAR DE VAPORIZADORES (44), UN ENSAMBLAJE DE SINTONIZACION Y TRANSMISION DE MICROONDAS (40) Y UN ENSAMBLAJE DE GENERACION DE CAMPO MAGNETICO (46). LA CAMARA (42) DEFINE UNA REGION INTERIOR (50) EN LA QUE SE DIRIGEN EL MATERIAL DE ORIGEN Y GAS IONIZABLE. LA CAMARA (42) ESTA APOYADA POR UNA TAPA (62) QUE TIENE UNA RANURA EN ARCO (64) A TRAVES DE LA CUAL LOS IONES GENERADOS SALEN DE LA CAMARA (42). EL ENSAMBLAJE DE SINTONIZACION Y TRANSMISION DE MICROONDAS (40), QUE ALIMENTA ENERGIA DE MICROONDA A LA CAMARA (42) EN EL MODO TEM, INCLUYE UN CONDUCTOR CENTRAL DE LINEA DE TRANSMISION DE ENERGIA DE MICROONDA COAXIAL (54). UN EXTREMO (66) DEL CONDUCTOR (54) AJUSTA EN UNA PARTE AHUECADA (68) DE LA CAMARA (42) Y TRANSMITE ENERGIA DE MICROONDA A LA CAMARA (42). EL CONDUCTOR CENTRAL (54) SE EXTIENDE A TRAVES DE UNA PARTE DESOCUPADA DEL TUBO COAXIAL (56) QUE RODEA AL CONDUCTOR (54). UN CIERRE AL VACIO (58) ESTA DISPUESTO EN O JUNTO AL TUBO COAXIAL (56) Y DESDE EL EXTREMO ENTRE EL TUBO COAXIAL DESOCUPADA (56) Y UNA REGION NO DESOCUPADA.