| 摘要 |
캐리어와 그 안의 웨이퍼들을 웨이퍼 이동 장비에 예측할 수 있고 확고부동하게 위치시키는 성형가능 플래스틱 캐리어는 웨이퍼를 삽입하고 제거하는 트인상부와, 캐리어 내에 축방향으로 정렬된 웨이퍼를 사이 띄어 지지하는 내측의 대향하는 리브들과 그들 사이에 웨이퍼 포킷들을 가진 한 쌍의 대향하는 직립 측벽을 가진다. 그 캐리어는 일 단벽이 이동 장비에 인덱스가능한, 한 쌍의 대향하는 직립 단벽을 가진다. 그 일 단벽은 레일에 각각 위 및 아래 부분들과 접촉하는 대향의 이동 장비를 가진다. 위 및 아래 부분들 간에 아치가 형성되어 이동장비와 4점 접촉을 형성한다. |
