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发明名称 HIGH-PURITY NITROGEN GAS MANUFACTURING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11118353(A) 申请公布日期 1999.04.30
申请号 JP19970283974 申请日期 1997.10.16
申请人 DAIDO HOXAN INC 发明人 YOSHINO AKIRA
分类号 F25J3/04;(IPC1-7):F25J3/04 主分类号 F25J3/04
代理机构 代理人
主权项
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