发明名称 |
RESIST STRIPPING SOLUTION COMPOSITION AND RESIST STRIPPING METHOD USING THE SAME |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH11119444(A) |
申请公布日期 |
1999.04.30 |
申请号 |
JP19970299500 |
申请日期 |
1997.10.16 |
申请人 |
TOKYO OHKA KOGYO CO LTD |
发明人 |
TANABE MASAHITO;WAKIYA KAZUMASA;KOBAYASHI MASAICHI;NAKAYAMA TOSHIMASA |
分类号 |
G03F7/42;(IPC1-7):G03F7/42 |
主分类号 |
G03F7/42 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|