发明名称 RESIST STRIPPING SOLUTION COMPOSITION AND RESIST STRIPPING METHOD USING THE SAME
摘要
申请公布号 JPH11119444(A) 申请公布日期 1999.04.30
申请号 JP19970299500 申请日期 1997.10.16
申请人 TOKYO OHKA KOGYO CO LTD 发明人 TANABE MASAHITO;WAKIYA KAZUMASA;KOBAYASHI MASAICHI;NAKAYAMA TOSHIMASA
分类号 G03F7/42;(IPC1-7):G03F7/42 主分类号 G03F7/42
代理机构 代理人
主权项
地址