发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH11121615(A) 申请公布日期 1999.04.30
申请号 JP19970291738 申请日期 1997.10.08
申请人 SONY CORP 发明人 KOYAMA KAZUHIDE
分类号 H01L23/522;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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