发明名称 TEST WIRING PATTERN FOR SEMICONDUCTOR DEVICE, AND ITS TEST METHOD
摘要
申请公布号 JPH11121574(A) 申请公布日期 1999.04.30
申请号 JP19970282198 申请日期 1997.10.15
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 ONOZAWA SACHIKO
分类号 G01R31/26;H01L21/3205;H01L21/66;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/66;H01L21/320 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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