| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11121564(A) |
申请公布日期 |
1999.04.30 |
| 申请号 |
JP19970285314 |
申请日期 |
1997.10.17 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
NAKAYA SHUJI;TAKAHASHI KAZUYA |
| 分类号 |
G01R31/28;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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