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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH11121464(A) 申请公布日期 1999.04.30
申请号 JP19970280178 申请日期 1997.10.14
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ISHII KAZUAKI
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L29/205;H01L29/737;(IPC1-7):H01L21/331 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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