| 发明名称 |
MULTILAYER SILICON CARBIDE WAFER |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH11121315(A) |
申请公布日期 |
1999.04.30 |
| 申请号 |
JP19970296361 |
申请日期 |
1997.10.14 |
| 申请人 |
MITSUI ENG & SHIPBUILD CO LTD;ADO MAP:KK |
发明人 |
KAWAHARA FUMITOMO |
| 分类号 |
H01L21/205;H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
