| 发明名称 |
FAULT ANALYSIS METHOD USING ELECTRON BEAM TESTER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11121560(A) |
申请公布日期 |
1999.04.30 |
| 申请号 |
JP19970283919 |
申请日期 |
1997.10.16 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP;MITSUBISHI DENKI SYSTEM LSI DESIGN KK |
发明人 |
ISHIKAWA YOSHITAKA |
| 分类号 |
G01R31/302;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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