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发明名称 DEVICE FOR MEASURING SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT, AND ITS MEASUREMENT METHOD
摘要
申请公布号 JPH11121559(A) 申请公布日期 1999.04.30
申请号 JP19970283505 申请日期 1997.10.16
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 TSUURA KATSUHIKO
分类号 G01R31/302;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/302
代理机构 代理人
主权项
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