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发明名称
EQUIPMENT FOR INSULATING FILM DEPOSITION AND INSULATING FILM DEPOSITION THEREBY
摘要
申请公布号
JPH11121444(A)
申请公布日期
1999.04.30
申请号
JP19970276213
申请日期
1997.10.08
申请人
OKI ELECTRIC IND CO LTD
发明人
YAMAMOTO SHINSUKE
分类号
H01L21/31;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/31
主分类号
H01L21/31
代理机构
代理人
主权项
地址
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