| 发明名称 |
ABRASIVE FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11121412(A) |
申请公布日期 |
1999.04.30 |
| 申请号 |
JP19970286599 |
申请日期 |
1997.10.20 |
| 申请人 |
SUMITOMO CHEM CO LTD |
发明人 |
SUKUMODA ATSUSHI;TAKASHIMA MASAYUKI;SARARA KENICHI |
| 分类号 |
B24B57/02;C08L57/00;C09K3/14;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
B24B57/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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