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发明名称 FILM THICKNESS GAUGING METHOD AND DEVICE USING FT-IR
摘要
申请公布号 JPH11118431(A) 申请公布日期 1999.04.30
申请号 JP19970283482 申请日期 1997.10.16
申请人 JEOL LTD 发明人 KATO HIROSHI
分类号 G01B11/06;(IPC1-7):G01B11/06 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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