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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE, SEMICONDUCTOR WAFER, SEMICONDUCTOR DEVICE INSPECTION METHOD PERFORMED USING SEMICONDUCTOR WAFER, PROBE CARD, AND BURN-IN APPARATUS THEREOF
摘要
申请公布号 JPH11121557(A) 申请公布日期 1999.04.30
申请号 JP19970288290 申请日期 1997.10.21
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 NAKANO TAKESHI;NAKAYA SHUJI
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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