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发明名称 METHOD AND EQUIPMENT FOR CLEANING SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH11121420(A) 申请公布日期 1999.04.30
申请号 JP19970286729 申请日期 1997.10.20
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD 发明人 MORINISHI TAKEYA;OTANI MASAMI;NISHIMURA JOICHI;MORITA AKIHIKO
分类号 B08B3/02;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B08B3/02
代理机构 代理人
主权项
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