| 发明名称 |
DEVICE FOR RECOVERING ABRASIVE SLURRY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11121408(A) |
申请公布日期 |
1999.04.30 |
| 申请号 |
JP19970282335 |
申请日期 |
1997.10.15 |
| 申请人 |
KURITA WATER IND LTD |
发明人 |
FURUKAWA MASAHIRO;OTA OSAMU |
| 分类号 |
B24B57/02;B01D61/02;B01D61/14;B01D61/58;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
B24B57/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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