发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH11121620(A) 申请公布日期 1999.04.30
申请号 JP19970288710 申请日期 1997.10.21
申请人 NEC KYUSHU LTD 发明人 TOMITA KATSUHIRO
分类号 H01L21/28;H01L21/3213;H01L21/768;H01L21/82;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/321 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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