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发明名称 METHOD FOR MEASURING THERMAL RESISTANCE AND CHANNEL TEMPERATURE OF FET
摘要
申请公布号 JPH11121575(A) 申请公布日期 1999.04.30
申请号 JP19970283291 申请日期 1997.10.16
申请人 NEC CORP 发明人 TAKEDA KUNIHIRO
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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